传感器与微系统平台
平台主任：杜利东
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平台概况 
平台建有1300平方米超净间，拥有一条完整的微电子机械系统（MEMS）加工工艺线，具有先进的MEMS加工、封装和测试设备，形成了整套的加工工艺规范，具备各种硅基和非硅基的微结构器件的加工和测试能力。关键MEMS 加工和测试设备包括：清洗腐蚀台、双面光刻机、硅深刻蚀机、RIE、电子束蒸发台、离子束刻蚀机、磁控溅射镀膜设备、ICP-CVD、LPCVD、多腔室金属薄膜沉积设备、氮化铝溅射设备、paralyne溅射设备、阳极键合机、引线键合机、激光划片机、快速退火炉、台阶仪、探针台、薄膜应力分析仪、椭偏仪、SEM、LSM、AFM、红外显微镜、轮廓仪、显微振动分析系统、无液氦综合测试系统、激光焊接机等，可对外提供微纳加工、测试和封装服务。
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平台成员
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实验室成员：杜利东，副研究员，平台总体运行管理。 |
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实验室成员：赵佩月，高级工程师，平台合同及财务管理。 |
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实验室成员：关昕，实验师，平台镀膜区设备操作及管理。 |
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实验室成员：熊菲，实验员，平台刻蚀区设备操作及管理。 |
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实验室成员：王尧，助理研究员，平台刻蚀区设备操作及管理。 |
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实验室成员：王兴旺，工程师，平台测试及黄光区设备操作及管理。 |
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实验室成员：史汉涛，工程师，平台镀膜及划片区设备操作及管理。 |
服务项目：
1、薄膜生长及沉积工艺
2、深硅刻蚀、介质薄膜刻蚀、金属薄膜刻蚀工艺
3、薄膜材料及微纳结构表征测试
4、微传感器裂片、封装工艺
传感器与微系统平台拥有40余台加工、测试以及封装设备，用户需要提前通过邮件进行预约申请并注明详细工艺参数，通过申请后的用户可将样品送至实验室进行加工测试。
收费须知：
欢迎来访
北京市海淀区中关村北一条9号科电大厦737北楼一楼超净实验室，办公电话：010-58887593，010-58887532。
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