10月20日至22日，中国科学院空天信息创新研究院（空天院） 研究员邹旭东的团队的在读博士生綦振翔在IEEE电子器件学会（EDS）主办的2025 IEEE国际学生MEMS挑战赛中，凭借其在高品质因数（Q值）压电MEMS陀螺仪领域的创新研究成果，从全球二十余支参赛队伍中脱颖而出，最终荣获二等奖。
本届赛事共设一等奖1项、二等奖2项、三等奖2项，綦振翔与另一支国际知名高校团队并列第二，充分彰显了空天院在微纳传感技术领域的国际前沿水平与强劲竞争力。
綦振翔的参赛项目聚焦高性能压电MEMS陀螺仪的研发，提出一种基于二阶酒杯模态的新型宽环形谐振器结构，显著提升了器件的机械Q值与长期稳定性。该器件的全流程制造，包括氮化铝压电薄膜沉积、深硅刻蚀等关键工艺，均在空天院传感器与微系统平台超净间内完成。通过引入背刻释放工艺、无金属底电极设计等五项核心技术创新，该陀螺仪在真空环境下实现了75000的Q值，为目前国际公开报道中同类压电MEMS硅陀螺仪的最高水平。
该项目由邹旭东指导，綦振翔作为核心成员，独立完成了器件结构设计、工艺流程开发及性能测试等关键环节。项目成果获得评委高度评价。多位专家在现场点评中表示：“这是一项非常出色的工作，如此高的Q值令人印象深刻。”
本次挑战赛采用“初选+现场展示”两阶段评审机制。组委会面向全球征集项目方案，重点考察技术先进性与工艺创新性，并从中遴选优秀作品进入决赛。决赛阶段，入围选手赴日本仙台进行现场海报展示，并接受IEEE EDS委员会权威专家的多轮质询与综合评分。评审维度涵盖技术创新性、工艺可行性、器件性能与应用潜力、学术表达能力及现场答辩表现等多个方面。
此次获奖不仅是对青年科研人才创新能力的充分肯定，也进一步提升了我国在国际MEMS与智能传感领域的学术影响力。未来，空天院将继续坚持“四个面向”，深耕智能感知核心技术攻关，加快高水平创新人才培养，为推动我国空天信息科技自立自强贡献更大力量。
图1 颁奖典礼。EDS委员会为綦振翔（左一）颁发二等奖。
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